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含 C 源 AlN 陶瓷基片烧结工艺研究

发布日期：2018-07-24 作者：薄睿恬，姜宏伟，黄海亮，付斯年,郑友进浏览次数：601

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关键词： AlN 陶瓷基片；常压烧结；晶相控制；石墨加热体

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