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固相烧结反应法制备IGZO 粉末

发布日期：2015-10-14 作者：孟璇1, 2，陈敬超1, 2，贾清翠1, 2，杨波1, 2，庄严1, 2，于杰1, 2 浏览次数：140

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关键词： IGZO 粉末；固相烧结反应法；烧结温度；保温时间；球料质量比；形貌

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