河钢集团加快培育壮大战略性新兴产业,充分发挥高纯稀有气体实验室作用,积极开展航天级稀有气体研制、电子芯片用特种气体配制及稀有气体分离设备关键部件研制,不断加大氪氖、氙氩氖等特种气体市场开发力度,进一步提升气体产品创效能力。与客户加强交流对接,详细了解客户工艺流程和所需刻蚀气体的品质需求,优化制定专属工艺方案,严格过程质量控制,保证了产品高质量交付,并获得客户高度认可。
日前,河钢集团研发生产的高品质“芯片氪”产品,交付长江存储科技有限责任公司,将作为刻蚀气体替代进口产品,用于制造IDM集成电路芯片。